真空手套箱采用雙層密封時會產(chǎn)生的問題:
一、中間層真空狀態(tài)下
a. 內(nèi)外層未失效情況:內(nèi)外層往中間層泄漏更快,中間層實際上是外層空氣和內(nèi)層箱內(nèi)氣體的混合氣,抽真空時通過真空泵反饋到系統(tǒng)內(nèi),影響箱體氣氛。
手套箱整體的泄漏率也會上升。
b. 內(nèi)層失效狀態(tài)下:箱內(nèi)氣體通過真空泵被大量抽出,氣瓶不停給箱內(nèi)補氣,箱體氣氛會變得很差,幾乎與氣瓶氣氛相同。
c. 外層失效狀態(tài)下:大量空氣氣體進入中間層,真空泵將空氣抽入,并反到手套箱的循環(huán)系統(tǒng)及其它真空室中,對手套箱體氣氛及凈化柱造成嚴重影響或破壞。
二、中間層與箱體內(nèi)壓力相同
a. 在內(nèi)外層未失效情況下,箱內(nèi)氣壓不停在變化,中間層要相應隨著變化。要加裝壓力傳感器,且需要PLC控制,抽充口會不停工作,以保證中間層與內(nèi)腔壓力相同,其極復雜且不可靠。
b. 內(nèi)層失效,箱體內(nèi)氣體會被大量抽出,并不停充氣,結(jié)果同一(b)。
C. 外層失效,空氣會被大量抽出,結(jié)果同一(c)
三、中間層壓力大于箱內(nèi)壓力設定
a. 這種情況,壓力大的會加速往壓力低的一方泄漏。當達到很小壓差時,會對中間層補氣。
B. 當內(nèi)層失效時,大量氣體會進入箱內(nèi),使箱內(nèi)壓力等同時中間層,在系統(tǒng)控制下,要保持中間層壓力高于箱內(nèi),就會不停補氣,直至手套箱由于壓力過大停機或手套脫離。
C. 當外層失效時,大量氣體會排入大氣中。